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論文・著書情報


タイトル
和文:パルスバイアス核形成および選択的エッチング効果を用いた3C-SiC/Si上への(111)高配向ダイヤモンドの合成 
英文: 
著者
和文: 須藤建瑠, 矢板潤也, 岩崎孝之, 波多野睦子.  
英文: Takeru Suto, Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2016年11月16日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第30回ダイヤモンドシンポジウム 
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開催地
和文:目黒 
英文: 

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