Crystal orientation effect on local adhesion strength of the interface between a damascene copper line and the insulation layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystal orientation effect on local adhesion strength of the interface between a damascene copper line and the insulation layer

著者

和文:	Nobuyuki Shishido, Yuka Oura, Hisashi Sato, Shoji Kamiya, Kozo Koiwa, 大宮正毅, Masahiro Nishida, Takashi Suzuki, 中村友二, Takeshi Nokuo, Toshiaki Suzuki.
英文:	Nobuyuki Shishido, Yuka Oura, Hisashi Sato, Shoji Kamiya, Kozo Koiwa, Masaki Omiya, Masahiro Nishida, Takashi Suzuki, Tomoji Nakamura, Takeshi Nokuo, Toshiaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Volume 120 Page 71-76

出版年月

2014年5月25日

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: