Deposition of highly c-axis-oriented ScAlN thin films by RF magnetron sputtering using a Sc-Al alloy target

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of highly c-axis-oriented ScAlN thin films by RF magnetron sputtering using a Sc-Al alloy target

著者

和文:	藤井知, S. Shimizu, M. Sumisaka, Y. Suzuki, S. Otomo, T. Omori, K. Hashimoto.
英文:	S. Fujii, S. Shimizu, M. Sumisaka, Y. Suzuki, S. Otomo, T. Omori, K. Hashimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年5月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE International Frequency Control Symposium

開催地

和文:
英文:	Taipei