Effects of substrate surface composition and deposition temperature on deposition of flat and continuous Ru thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of substrate surface composition and deposition temperature on deposition of flat and continuous Ru thin films

著者

和文:	千葉洋一, Masaki HIRANO, 河野和久, Noriaki OSHIMA, 舟窪浩.
英文:	Hirokazu CHIBA, Masaki HIRANO, Kazuhisa KAWANO, Noriaki OSHIMA, Hiroshi FUNAKUBO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of the Ceramic Society of Japan

巻, 号, ページ

vol. 124 no. 6

出版年月

2016年6月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI