Growth of (111)-oriented epitaxial and textured ferroelectric Y-doped HfO2 films for downscaled devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of (111)-oriented epitaxial and textured ferroelectric Y-doped HfO2 films for downscaled devices

著者

和文:	Kiliha Katayama, 清水荘雄, 坂田修身, Takahisa Shiraishi, Syogo Nakamura, 木口賢紀, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, 内田寛, 舟窪浩.
英文:	Kiliha Katayama, Takao Shimizu, Osami Sakata, Takahisa Shiraishi, Syogo Nakamura, Takanori Kiguchi, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, Hiroshi Uchida, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

vol. 109 pp. 112901-1-5

出版年月

2016年9月12日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI