Orientation Controlled HfO2-Based Ferroelectric Films Prepared by Solid Phase Local Epitaxial Technique for High Density Memory Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Orientation Controlled HfO2-Based Ferroelectric Films Prepared by Solid Phase Local Epitaxial Technique for High Density Memory Applications

著者

和文:	舟窪浩, 三村和仙, 清水荘雄, Kiliha Katayama, 内田寛, 木口賢紀, Akihiro Akama, Toyohiko Konno, 坂田修身.
英文:	Hiroshi Funakubo, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Kiliha Katayama, Hiroshi Uchida, Takanori Kiguchi, Akihiro Akama, Toyohiko Konno, Osami Sakata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年11月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2016 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Boston