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論文・著書情報


タイトル
和文:配向制御したHfO2基強誘電体薄膜の作製と特性評価 
英文: 
著者
和文: 舟窪 浩, 清水荘雄, 片山きりは, 三村和仙.  
英文: HIROSHI FUNAKUBO, Takao Shimizu, 片山きりは, Takanori Mimura.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2016年6月29日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第192回研究集会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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