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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Growth of epitaxial orthorhomibic doped HfO2 thin films 
著者
和文: 清水 荘雄, 舟窪 浩.  
英文: T. Shimizu, H. Funakubo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年3月9日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Novel High k Application Workshop 2017 
開催地
和文: 
英文:Dresden 

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