Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology

著者

和文:	鈴木拓真, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2017 MRS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Boston