衝突輻射モデルに基づく発光分光計測によるアルゴンプロセスプラズマの診断のための原子過程モデル

論文・著書情報

タイトル

和文:	衝突輻射モデルに基づく発光分光計測によるアルゴンプロセスプラズマの診断のための原子過程モデル
英文:	Excitation kinetic model for argon process plasma diagnostics by spectroscopic measurement based on collisional-radiative model

著者

和文:	山下雄也, 赤塚洋.
英文:	Yuya Yamashita, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第78回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	Extended abstracts, The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

巻, 号, ページ

p. 07-007

出版年月

2017年8月25日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The japan society of applied physics

会議名称

和文:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

開催地

和文:	福岡
英文:	Fukuoka

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