Influence of High Power-Density Plasma on Heteroepitaxial Diamond Nucleation on 3C-SiC Surface

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of High Power-Density Plasma on Heteroepitaxial Diamond Nucleation on 3C-SiC Surface

著者

和文:	矢板潤也, M. Natal, S. E. Saddow, 波多野睦子, 岩崎孝之.
英文:	J. Yaita, M. Natal, S. E. Saddow, M. Hatano, T. Iwasaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Express

巻, 号, ページ

Vol. 10 No. 4 pp. 045502-1-4

出版年月

2017年3月

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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