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論文・著書情報


タイトル
和文:反応性マグネトロンスパッタ法を用いたNbH薄膜のエピタキシャル成長 
英文: 
著者
和文: 笹原 悠輝, 清水 亮太, 杉山 一生, 大口 裕之, 白木 将, 折茂 慎一, 一杉 太郎.  
英文: Yuki Sasahara, Ryota Shimizu, Issei Sugiyama, 大口 裕之, 白木 将, 折茂 慎一, Taro Hitosugi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2017年3月 
出版者
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会議名称
和文:第64回応用物理学会春季学術講演会 
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開催地
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公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2017s/top
 

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