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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of Ar-FAB irradiation to PL Characteristics of GaInAs/InP toward room temperature surface activated bonding 
著者
和文: 永坂 久美, 鈴木 純一, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井滋久.  
英文: Kumi Nagasaka, Junichi Suzuki, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     No. P-22   
出版年月 2017年12月 
出版者
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英文: 
会議名称
和文: 
英文:7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2017) 
開催地
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英文: 

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