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論文・著書情報


タイトル
和文:ハイブリッド集積に向けたAr-FAB表面活性化接合法のInP/Si接合特性の検討 
英文:Investigation of InP/Si bonding characteristics of Ar-FAB surface activated bonding for hybrid integration 
著者
和文: 永坂久美, 鈴木純一, 御手洗拓矢, 王 雨寧, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.  
英文: Kumi Nagasaka, Junichi Suzuki, Takuya Mitarai, Yuning Wang, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2018年3月 
出版者
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会議名称
和文:応用物理学会 春季学術講演会 
英文:The 65th JSAP Spring Meeting, 2018 
開催地
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