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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Study of Fabrication Technology for GaInAsP/SOI Photonic Integrated Circuits using Plasma Activated Bonding 
著者
和文: 鈴木純一.  
英文: Junichi Suzuki.  
種別
種別:学位論文(博士)論文要旨 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号  
学位授与日  
審査員  

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