衝突輻射モデルに基づく多数発光線解析によるマイクロ波放電低気圧アルゴンプラズマ診断

山下雄也; 山崎文徳; 根津篤; 赤塚洋

論文・著書情報

タイトル

和文:	衝突輻射モデルに基づく多数発光線解析によるマイクロ波放電低気圧アルゴンプラズマ診断
英文:	Diagnostics of microwave discharge low-pressure argon plasma by multi-optical emission line analysis based on collisional-radiative model

著者

和文:	山下雄也, 山崎文徳, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Yuya Yamashita, Fuminori Yamazaki, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第65回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
英文:	Extended Abstracts of The 65th JSAP Spring Meeting, 2018

巻, 号, ページ

p. 07-023

出版年月

2018年3月5日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	2018第65回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 65h JSAP Spring Meeting, 2018

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo

公式リンク

https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2018s/subject/17p-C204-3/tables?cryptoId=

アブストラクト

衝突輻射モデルに基づいた原子過程モデルを用いた，多数の発光線強度を入力とした，低気圧アルゴンプラズマに対する筆者らが提案する電子温度および電子密度診断法を検証した．マイクロ波放電プラズマを対象として，プローブ計測との対照実験を行った．マイクロ波電力および測定位置との依存性を測定した結果，特に電子密度についてはプローブ計測の傾向と一致することが確認でき，提案手法の妥当性が明らかとなった．

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