3C-SiC/Si 基板上に形成したヘテロエピタキシャルダイ ヤモンドSBD の電気特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	3C-SiC/Si 基板上に形成したヘテロエピタキシャルダイヤモンドSBD の電気特性
英文:

著者

和文:	室岡拓也, 矢板潤也, 岩崎孝之, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, Natal Meralys, Saddow Stephen E., 山崎聡, 波多野睦子.
英文:	Takuya Murooka, Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, Natal Meralys, Saddow Stephen E., 山崎聡, Mutsuko Hatano.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月18日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第65回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: