In-plane orientation and composition dependences of crystal structure and electrical properties of {100}-oriented Pb(Zr, Ti)O3 films grown on (100) Si substrates by metal organic chemical vapor deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-plane orientation and composition dependences of crystal structure and electrical properties of {100}-oriented Pb(Zr, Ti)O3 films grown on (100) Si substrates by metal organic chemical vapor deposition

著者

和文:	岡本庄司, P. S. Sankara Rama Krishnan, Satoshi Okamoto, 横山信太郎, 秋山賢輔, 舟窪浩.
英文:	Shoji Okamoto, P. S. Sankara Rama Krishnan, Satoshi Okamoto, Shintaro Yokoyama, Kensuke Akiyama, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

vol. 56 pp. 10PF12-1-5

出版年月

2017年9月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: