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論文・著書情報


タイトル
和文:高プラズマパワー密度CVDとArガスによる高配向・高 生成効率NVアンサンブルの高速合成 
英文: 
著者
和文: 辻 赳行, 小澤 勇斗, 岩崎 孝之, 波多野 睦子.  
英文: Takeyuki Tsuji, Hayato Ozawa, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年9月21日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第79回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:愛知、名古屋 
英文: 

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