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論文・著書情報


タイトル
和文:反応性マグネトロンスパッタ法を用いた YH2単相エピタキシャル薄膜の配向制御 
英文: 
著者
和文: 小松 遊矢, 清水 亮太, 笹原 悠輝, 西尾 和記, 大口 裕之, 小倉 正平, 福谷 克之, 折茂 慎一, 一杉 太郎.  
英文: Yuya Komatsu, Ryota Shimizu, Yuki Sasahara, Kazunori Nishio, 大口 裕之, 小倉 正平, 福谷 克之, 折茂 慎一, Taro Hitosugi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年4月7日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:日本表面科学会第3回関東支部講演大会 
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開催地
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