各種層間絶縁膜を用いた薄膜π型マイクロTEGモジュールの最適設計

論文・著書情報

タイトル

和文:	各種層間絶縁膜を用いた薄膜π型マイクロTEGモジュールの最適設計
英文:	Design optimization of π-type thin-film micro-TEG modules using various interlayer insulators

著者

和文:	熊谷颯人, 塩津勇作, 大久保岳, 菅原聡.
英文:	Hayato Kumagai, Yusaku Shiotsu, Takashi Okubo, Satoshi Sugahara.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

21p-438-3

出版年月

2018年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 79th JSAP Autumn Meeting

開催地

和文:	名古屋
英文:	Nagoya