Steps towards compact generation of 13.5 nm Extreme ultraviolet (EUV) light

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Steps towards compact generation of 13.5 nm Extreme ultraviolet (EUV) light

著者

和文:	Musgrave Christopher, 村上勇仁, 佐藤理絵, 庄司俊太郎, 長谷川香織, Lu Nan, 彌田智一, 長井圭治.
英文:	Christopher S A Musgrave, Takehito Murakami, Rie Sato, Shuntaro Shoji, Kaori Hasegawa, Nan Lu, Tomokazu Iyoda, Keiji Nagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年7月6日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Plasma Physics by Laser and Applications (PPLA 2017)

開催地

和文:
英文:	Messina