Effects of Reaction Conditions on MoS2 Thin Film Formation Synthesized by Chemical Vapor Deposition using Organic Precursor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Reaction Conditions on MoS2 Thin Film Formation Synthesized by Chemical Vapor Deposition using Organic Precursor

著者

和文:	S. Ishihara, Y. Hibino, N. Sawamoto, K. Suda, 大橋匠, 松浦賢太朗, H. Machida, M. Ishikawa, H. Sudoh, 若林整, 小椋厚志.
英文:	S. Ishihara, Y. Hibino, N. Sawamoto, K. Suda, T. Ohashi, K. Matsuura, H. Machida, M. Ishikawa, H. Sudoh, H. Wakabayashi, A. Ogura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MRS Spring Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Arizona