Centimeter-scale high-performance few-layer MoS2 fabricated by RF magnetron sputtering and subsequent post-deposition annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Centimeter-scale high-performance few-layer MoS2 fabricated by RF magnetron sputtering and subsequent post-deposition annealing

著者

和文:	S. Ishihara, Y. Hibino, N. Sawamoto, 大橋匠, 松浦賢太朗, 若林整, 小椋厚志.
英文:	S. Ishihara, Y. Hibino, N. Sawamoto, T. Ohashi, K. Matsuura, H. Wakabayashi, A. Ogura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Solid State Devices and Materials

開催地

和文:
英文:	Tsukuba