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論文・著書情報


タイトル
和文:熱処理によるFePt/AlN 多層膜の内部応力変化 
英文: 
著者
和文: 田島 隆太郎, 史 蹟, 中村 吉男, 村石 信二, 三宮 工.  
英文: 田島 隆太郎, Ji Shi, YOSHIO NAKAMURA, Shinji Muraishi, Takumi Sannomiya.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本金属学会 2013秋期講演大会 
英文: 
開催地
和文:石川 
英文: 

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