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論文・著書情報


タイトル
和文:衝突輻射モデルに基づく発光分光計測による低気圧マイクロ波放電Arプラズマの電子温度・密度診断 
英文:Diagnosticsof Electron Temperatureand Densityof Low-pressure Microwave Discharge Ar Plasma by Optical Emission Spectroscopy Based on Collisional Radiative Model 
著者
和文: 山崎文徳, 根津篤, 赤塚洋.  
英文: Fuminori Yamazaki, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended Abstracts of The 66th JSAP Spring Meeting, 2019 
巻, 号, ページ 06-001       
出版年月 2019年3月1日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第66回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 66th JSAP Spring Meeting, 2019 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2019s/subject/9p-W323-1/entries
 
アブストラクト 衝突輻射モデルに基づき、電子温度・密度診断モデルを作成し、発光分光計測によりその診断モデルの有用性を検証した。対象としたのは低気圧マイクロ波放電Arプラズマである。電子温度は5p及び6p準位、電子密度は4s、4p及び5s準位を用いて診断モデルを作成した。また、モデル作成に際し、電子のエネルギー分布はMaxwell分布もしくはDruyvesteyn分布を仮定した。プローブ計測と診断結果を比較したところ、大略が一致する計測を行うことが出来た。

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