酸化物半導体薄膜の成長および特性に及ぼすポリマー基板表面における原子レベルパターンの影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸化物半導体薄膜の成長および特性に及ぼすポリマー基板表面における原子レベルパターンの影響
英文:	Influence of atomic-scale patterned polymer substrate on thin film growth and property of oxide semiconductor

著者

和文:	大賀友瑛, 岩佐健, 山田志織, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Tomoaki Oga, Ken Iwasa, Shiori Yamada, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年2月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第66回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 66th JSAP Spring Meeting, 2019

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo

公式リンク