マイクロ波加熱を用いたNbドープTiO2薄膜の固相結晶化

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ波加熱を用いたNbドープTiO2薄膜の固相結晶化
英文:

著者

和文:	保崎正道, 松久将之, 遊馬博明, 中尾祥一郎, 長谷川哲也, 清水亮太, 西尾和記, 和田雄二, 一杉太郎.
英文:	Masamichi Hosaki, Masayuki Matsuhisa, Hiroaki Asoma, 中尾祥一郎, Tetsuya Hasegawa, Ryota Shimizu, Kazunori Nishio, Yuji Wada, Taro Hitosugi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年3月

出版者

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会議名称

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英文:	第66回応用物理学会春季学術講演会

開催地

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