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論文・著書情報


タイトル
和文:塩基性ガスアシスト製膜法の開拓 ―酸化セリウム膜と酸化亜鉛膜― 
英文: 
著者
和文: 古川哲也, 久保田雄太, 岸哲生, 矢野哲司, 松下伸広.  
英文: Tetuya Furukawa, Yuta Kubota, Tetsuo Kishi, Tetsuji Yano, NOBUHIRO MATSUSHITA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         24
出版年月 2018年8月20日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第17回無機材料合同研究会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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