Epitaxial ferroelectric Y-doped HfO2 film grown by the RF magnetron sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Epitaxial ferroelectric Y-doped HfO2 film grown by the RF magnetron sputtering

著者

和文:	鈴木大生, 清水荘雄, 三村和仙, 内田寛, 舟窪浩.
英文:	Taisei Suzuki, Takao Shimizu, Takanori Mimura, Hiroshi Uchida, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 57 pp. 11UF15-1-4

出版年月

2018年10月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI