引張り歪層によるSi基板上InP小片接合界面の垂直応力抑制

論文・著書情報

タイトル

和文:	引張り歪層によるSi基板上InP小片接合界面の垂直応力抑制
英文:

著者

和文:	菊地健彦, 白柳, 御手洗拓矢, 八木英樹, 新田俊之, 古川将人, 雨宮智宏, 西山伸彦.
英文:	Takehiko Kikuchi, Liu Bai, Takuya Mitarai, Yagi Hideki, Toshiyuki Nitta, Masato Furukawa, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

和文:
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