Deposition of amorphous boron carbide films with pulsed magnetron sputtering and evaluation of their mechanical properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of amorphous boron carbide films with pulsed magnetron sputtering and evaluation of their mechanical properties

著者

和文:	Saito, K., Fujii, R., 大竹尚登.
英文:	Saito, K., Fujii, R., NAOTO OHTAKE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advanced Materials Research

巻, 号, ページ

Vol. 970 pp. 97-101

出版年月

2014年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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DOI