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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deposition of ScAIN thin film using RF-sputtering method 
著者
和文: 藤井知, Kadena, H., Hashimoto, K.-Y..  
英文: Satoshi Fujii, Kadena, H., Hashimoto, K.-Y..  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:AIP Conference Proceedings 
巻, 号, ページ Vol. 1865       
出版年月 2017年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1063/1.4993367

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