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論文・著書情報


タイトル
和文:セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ (第2報):—セグメント構造クロム/ダイヤモンド状炭素膜の導入— 
英文: 
著者
和文: 中村 満, 小谷 浩之, 藤井 陽介, 高崎 正也, 大竹尚登, 水野 毅.  
英文: 中村 満, 小谷 浩之, 藤井 陽介, 高崎 正也, NAOTO OHTAKE, 水野 毅.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 76    No. 7    pp. 786-790
出版年月 2010年 
出版者
和文:公益社団法人 精密工学会 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.76.786

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