The 24th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-24) Preface

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The 24th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-24) Preface

著者

和文:	Shirafuji, T., Setsuhara, Y., Shiratani, M., Kaneko, T., Watanabe, T., 大竹尚登.
英文:	Shirafuji, T., Setsuhara, Y., Shiratani, M., Kaneko, T., Watanabe, T., NAOTO OHTAKE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	THIN SOLID FILMS

巻, 号, ページ

Vol. 523 pp. 1-1

出版年月

2012年11月

出版者

和文:
英文:	ELSEVIER SCIENCE SA

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI