エキシマ光プロセスを用いた超平坦ポリマー基板上でのZnO薄膜の低温合成と高結晶配向化

論文・著書情報

タイトル

和文:	エキシマ光プロセスを用いた超平坦ポリマー基板上でのZnO薄膜の低温合成と高結晶配向化
英文:	Low-temperature synthesis of highly oriented ZnO thin films on ultra-flat polymer substrates using excimer light processes

著者

和文:	大賀友瑛, 大島淳史, 金子奈帆, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Tomoaki Oga, Atsushi Oshima, Naho Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月4日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 80th JSAP Autumn Meeting, 2019

開催地

和文:	札幌
英文:	Sapporo

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