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論文・著書情報


タイトル
和文:発光分光計測による電子エネルギー分布関数診断にむけた低気圧マイクロ波放電アルゴンプラズマの励起状態分布の解析 
英文:The excited-state distribution analysis of the low-pressure microwave discharge argon plasma for electron energy distribution function diagnosis by optical emission spectroscopic measurement 
著者
和文: 山下雄也, 赤塚 洋.  
英文: Yuya Yamashita, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第80回応用物理学会秋季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended Abstracts of the 80th JSAP Autumn Meeting 2019 
巻, 号, ページ         p. 07-082
出版年月 2019年9月4日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:Japan Society of Appled Physics 
会議名称
和文:第80回応用物理学会秋季学術講演会 
英文:The 80th JSAP Autumn Meeting 2019 
開催地
和文:札幌 
英文:Sapporo 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2019a/subject/20a-B11-2/entries
 
アブストラクト 本研究では励起状態分布解析により，発光分光計測による電子エネルギー分布関数(EEDF)診断の可能性を検討した．低気圧マイクロ波放電アルゴンプラズマを対象に，プローブ計測により実測したEEDF，MaxwellおよびDruyvesteyn分布を入力とし衝突輻射モデルにより励起状態分布を求めた．準位3d’[3/2]○2+[5/2]○2,3 – 準位16’においてEEDF依存性が強いことが明らかとなった．

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