Achieving non-degenerate Zn3N2 thin films by near room temperature sputtering deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Achieving non-degenerate Zn3N2 thin films by near room temperature sputtering deposition

著者

和文:	Y. Wang, T. Ohsawa, 熊谷悠, 原田航, 大場史康, N. Ohashi.
英文:	Y. Wang, T. Ohsawa, Y. Kumagai, K. Harada, F. Oba, N. Ohashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

vol. 115 pp. 092104

出版年月

2019年8月27日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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