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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:New methodology for evaluating minority carrier lifetime for process assessment 
著者
和文: 角嶋 邦之, 星井 拓也, 渡辺 正裕, N. Shigyo, K. Furukawa, T. Saraya, T. Takakura, K. Itou, M. Fukui, S. Suzuki, K. Takeuchi, 宗田 伊理也, 若林 整, Y. Numasawa, A. Ogura, S. Nishizawa, 筒井 一生, T. Hiramoto, 大橋 弘通, 岩井 洋.  
英文: K. Kakushima, T. Hoshii, M. Watanabe, N. Shigyo, K. Furukawa, T. Saraya, T. Takakura, K. Itou, M. Fukui, S. Suzuki, K. Takeuchi, I. Muneta, H. Wakabayashi, Y. Numasawa, A. Ogura, S. Nishizawa, K. Tsutsui, T. Hiramoto, H. Ohashi, H. Iwai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年6月 
出版者
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会議名称
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英文:Symp. On VLSI Technology (VLSI2018) 
開催地
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英文: 

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