High Hall-Effect Mobility of Atomic-Layered Polycrystalline-ZrS2 Film using Sputtering and Sulfur Annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Hall-Effect Mobility of Atomic-Layered Polycrystalline-ZrS2 Film using Sputtering and Sulfur Annealing

著者

和文:	濱田昌也, Kentaro Matsuura, 坂本拓朗, 宗田伊理也, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Masaya Hamada, Kentaro Matsuura, Takuro Sakamoto, Iriya Muneta, Takuya Hoshii, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	3rd Electron Devices Technology and Manufactureing Conference (EDTM2019)

開催地

和文:
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