Electrical Characteristics of Atomic Layer Deposited Y-silicate Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Characteristics of Atomic Layer Deposited Y-silicate Devices

著者

和文:	Jinhan Song, A. Ohta, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	Jinhan Song, A. Ohta, T. Hoshii, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, K. Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices -Science and Technology- (IWDTF2019)

開催地

和文:
英文:	Tokyo