Direct integration of piezo-actuator array with active-matrix oxide thin-film transistors using a low-temperature solution process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Direct integration of piezo-actuator array with active-matrix oxide thin-film transistors using a low-temperature solution process

著者

和文:	志村礼司郎, 志村礼司郎, 下田達也, Yuzuru Yakamura.
英文:	P. T. Tue, Reijiro Shimura, T. Shimoda, Yuzuru Yakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A: Physical

巻, 号, ページ

Vol. 295 pp. 125-132

出版年月

2019年5月31日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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