フラッシュランプアニールおよびポストアニールで活性/不活性化したSi中Asの軟X線光電子分光による評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	フラッシュランプアニールおよびポストアニールで活性/不活性化したSi中Asの軟X線光電子分光による評価
英文:

著者

和文:	小川達博, 名取鼓太郎, 星井拓也, 仲武昌史, 渡辺義夫, 永山勉, 樋口隆弘, 加藤慎一, 谷村英昭, 角嶋邦之, 若林整, 筒井一生.
英文:	Tatsuhiro Ogawa, Kotaro Natori, Takuya Hoshii, 仲武昌史, 渡辺義夫, 永山勉, 樋口隆弘, 加藤慎一, 谷村英昭, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hitoshi Wakabayashi, KAZUO TSUTSUI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文: