InP/SiO2/Si Surface Activated Bonding assisted by Si nano-film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	InP/SiO2/Si Surface Activated Bonding assisted by Si nano-film

著者

和文:	方偉成, 王雨寧, 雨宮智宏, 西山伸彦.
英文:	weicheng Fang, Yuning Wang, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年11月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	9th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence

開催地

和文:
英文:	Tokyo