Solution-based process with thermal UV treatment for fabrication of piezoelectric PZT films for an actuator array at temperatures under 450 ºC

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Solution-based process with thermal UV treatment for fabrication of piezoelectric PZT films for an actuator array at temperatures under 450 ºC

著者

和文:	ReijiroShimura, TRONG TUE PHAN, YukiTagashira, TatsuyaShimoda, YuzuruTakamura.
英文:	ReijiroShimura, Phan TrongTue, YukiTagashira, TatsuyaShimoda, YuzuruTakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A: Physical

巻, 号, ページ

Vol. 267 p. 287

出版年月

2017年10月16日

出版者

和文:
英文:	Science Direct

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: