TML-MOSFETにおける極微細3次元チャネル形成プロセスの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	TML-MOSFETにおける極微細3次元チャネル形成プロセスの検討
英文:

著者

和文:	川下道宏, 山崎浩史, 大見俊一郎, 櫻庭政夫, 室田淳一, 酒井徹志..
英文:	Michihiro Kawashita, Hiroshi Yamasaki, Shun-ichiro OHMI, Masao Sakuraba, Jyunichi Murota, Tetsushi Sakai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第53回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 934

出版年月

2006年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:	武蔵工業大学
英文: