Self-Heating-Aware Cell Design for p/n-Vertically-Integrated Nanowire on FinFET beyond 3-nm Technology Node

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Self-Heating-Aware Cell Design for p/n-Vertically-Integrated Nanowire on FinFET beyond 3-nm Technology Node

著者

和文:	山岸朋彦, 堀敦, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Tomohiko Yamagishi, Atsushi Hori, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 59 No. SG

出版年月

2020年2月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: