Atomic Layer Deposition of Y2O3 Thin Films with a High Growth per Cycle by Ar Multiple Boost Injection

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic Layer Deposition of Y2O3 Thin Films with a High Growth per Cycle by Ar Multiple Boost Injection

著者

和文:	Jinan Song, Lyu Wei Lin, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	Jinan Song, Lyu Wei Lin, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Kuniyuki Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)

巻, 号, ページ

Vol. 59

出版年月

2020年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: