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論文・著書情報


タイトル
和文:大面積集積化に向けたスパッタ堆積ノーマリーオフMoS2-nMISFETs 
英文: 
著者
和文: 松浦 賢太朗, 濱田 昌也, 濱田 拓也, 谷川 晴紀, 坂本 拓朗, 堀 敦, 宗田 伊理也, 川那子 高暢, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 小椋 厚志, 若林 整.  
英文: Kentaro Matsuura, Masaya Hamada, Takuya Hamada, Haruki Tanigawa, Takuro Sakamoto, Atsushi Hori, Iriya Muneta, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 小椋 厚志, Hitoshi Wakabayashi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2020年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第67回応用物理学会春期学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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