Interface Properties La-Silicate MOS Capacitors with Tungsten Carbide Gate Electrode for Scaled EOT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Interface Properties La-Silicate MOS Capacitors with Tungsten Carbide Gate Electrode for Scaled EOT

著者

和文:	TUOKEDAERHAN KAMALE, R. Tan, 角嶋邦之, AHMET PARHAT, 片岡好則, 西山彰, 杉井信之, 筒井一生, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	T. Kamale, R. Tan, K. Kakushima, P. Ahmet, Y. Kataoka, A. Nishiyama, N. Sugii, K. Tsutsui, K. Natori, T. Hattori, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年10月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	PRiME 2012

開催地

和文:
英文:	Honolulu, Hawaii.